5nm光刻机制造难点有哪些

五毫米光刻机制造难点有

顶尖的核心技术+整合能力。

光刻机需要极高的精度，对应的就是最尖端的核心技术。最先进的5nm光刻机，需要最先进的光刻机光源技术，这种技术被Cymer牢牢掌控。同时，光的准确度和精度也非常重要。

整合能力。光刻机，被誉为工业上的明珠，原因在于，光刻机整合了多个行业。包括加工、机械、测量、光学、微观物理、化学和电子电路等等。我们都听过这么一句话，“学好数理化，走遍全天下”，而光刻机涉及到的理论知识，数理化全占了。

光刻机就是人类智慧的结晶。